Sistema de imágenes | 48-Channel; 32-Channel; 24-Channel |
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Producción | × 660m m, 2400dpi de 800m m: 28 placas/hora; 22 placas/hora; 16 placas/hora |
Repetibilidad | ±5µm (el exponer continuo por cuatro veces o arriba en la misma placa con una temperatura de 23℃ y l |
Fuente de alimentación | Monofásico: 220AC, el +6%, -10%, consumo de energía: 4KW |
Tamaño de la placa | El número máximo de unidades de ensayo es el número de unidades de ensayo. |